某某工业设备设计
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XYZ:台面尺寸: 40x40mm行程:13mm ;灵敏度1μm,交叉滚柱导轨 θZ:角度移动量:360° ,细调±5°,灵敏度:0.01° 芯片夹具:定制,可以控温,标准10-85℃
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