XYZ:台面尺寸： 125x125mm行程：50mm ;最小步进可以达到10nm以内 50nm光栅尺反馈，

最大速度:：20mm/s 重复精度： +/-0.01um 高端伺滑台，交叉滚柱导轨

θXθYθZ：θXθY角度移动量:±2.5º 最小千分尺刻度: 23"/小格，

灵敏度：0.0008度θZ角度移动量:±4º 最小千分尺刻度: 42"/小格，灵敏度：0.0015度

交叉滚柱导轨，三轴旋转中心设计在光纤端面，降低耦合难度，提高耦合效率

兼容各种夹具：水平光纤，垂直光纤，水平光纤阵列，垂直光纤阵列，lens夹具（真空吸附或者气动夹持）等